国产极紫外光谱仪突破，高端仪器驶入自主创新快车道
安徽国科量光技术有限公司在合肥发布国内首台极紫外波段物质吸收谱台式化仪器，标志着我国在高端科学仪器领域实现重要突破。
极紫外
【60秒芯闻】俄罗斯计划2036年造出极紫外(EUV)光刻机/台积电否认与英特尔进行投资浅谈
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